应用于航天航空、电力电子等行业微波器件,功率器件的晶圆片的切割(以碳化硅材料为基板的晶圆)
■ 设备优势
◆ 切割速度快,切割效果好,良率高
◆ 提供整套的裂片&扩片设备,完整的解决方案
◆ 工艺成熟,可针对不同类型的晶圆进行切割
■ 应用领域
■ 加工效果示例图
■ 更多信息
加工方式 - 激光切割
行业应用 - 半导体
加工材料 - 半导体