柔性传感器研究工作受限于现有加工制备设备精度不足、曲面加工能力缺失等问题，现有传感器件微纳结构成型精度有限，传感器信号采集灵敏度、分辨率、稳定性难以达到前沿研究标准，与高性能柔性传感应用的技术要求存在较大差距，严重制约了柔性传感器的性能优化、结构创新与成果落地。

现阶段实验室采用的3D打印等增材制造工艺，加工精度较低，无法满足柔性传感器微纳级结构制备需求；传统光刻技术虽可实现平面结构的高精度加工，但针对柔性纤维、柔性薄膜等曲面基底，无法在不破坏基材柔性结构、本征力学性能的前提下完成微纳精细化加工，难以适配异形、曲面柔性传感器的研发需求。当前团队亟需一台高精度曲面微纳加工专用设备，突破柔性传感器制备的技术瓶颈，开发高精度、高稳定性、高通量的新型柔性传感器件。

柔性电子器件三维加工系统可依托二极管泵浦激光器的光蚀效应，在极低损伤柔性基底的基础上，完成基材表面传感电极的图形化、精细化加工，快速成型柔性传感器实物样品。无需传统光刻复杂的图形转移工艺，无需频繁切换加工工作台面，可一次性完成柔性传感器电极图形刻画、器件外形成型全流程加工。整套研发制备流程可由单台设备独立完成，替代了传统冗长、繁琐的光刻流片工艺，能够大幅缩短柔性传感器的研发迭代周期，快速将科研设计思路转化为实物样品，设备操作便捷、适配实验室研发场景，落地应用可行性极强。该激光加工工艺分辨率可达15μm，能够精准适配柔性基底表面传感电极的异形化、精细化、微型化制备需求，可高效优化柔性传感器的信号感知精度、响应速度与稳定性，是破解团队当前柔性传感器研发痛点、推进科研攻关的核心关键设备，因此急需采购该设备支撑专项研究。

一 产品介绍

型号：JQL U4

制造商：杭州厚物电子科技有限公司

设备名称：低热损电极快速成型设备

国别：中国

指标：

1 加工沟道宽度： 8 μm。

2 激光光束质量M2：1.1。

3 激光器输出功率：0.08W。

4 激光脉宽：2ps。

5 单个扫描振镜区域分辨率0.1um。

6可在聚酰亚胺（PI）、聚氨酯（PU）、聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）、聚二甲基硅氧烷（PDMS）等柔性衬底上直接成型电极图形，最小线宽/线距：9/9μm。

7 可有选择地去除金层表面的PDMS、PEDOT:PSS（高分子聚合物）等薄膜材料，对金层损伤＜48nm.

8操作软件包含激光轨迹绘制和激光雕刻控制功能模块，且集成于同一软件。

9具有装载柔性基材的真空吸附台。

10具有内置式柔性基材测厚装置。

11 设备占地：0.78平方米。